Verwendung von Siliziumkarbidkomponenten für die Handhabung and inspection von Wafern
Siliziumcarbid(原文如此)在第250轮中死亡，在第250轮中死亡。Das häufigste变形者“α”-SiC, Das eine hexonale Kristallstruktur帽子。Neben einer sehr hohen Härte weist Siliziumkarbid mehere Eigenschaften auf, die es zu einem begehrten Konstruktionswerkstoff machen。
Insbesondere ist es chemisch sehr惰性和schmilzt bei keiner bekannten温度:Stattdessen升华和es bei der sehr hohen温度von 2800°C von einem Feststoff in ein Gas, was es für Lager und Ofenkomponenten äußerst nützlich macht。
19thJahrhundert wurde Siliziumkarbid für eine Vielzahl von Anwendungen angep助理。Es奇怪的immer noch在großem Umfang als Schleifmittel verwendet，在Bearbeitungsprozessen wie Schleifen und Sandstrahlen的insbesondere。Körner aussiliziumkarbid können auh zusamengesintert werden，嗯unglaublich harte和widerstandsfähige Keramiken zu bilden, die typischerweise für strapazierfähige安文顿根wie Autobremsen和kugelsichere西部werden。在Halbleiter，是ihm eine Reihe von Anwendungen in der Leistungselektronik einbring, insbesondere bei der Herstellung von Antriebssträngen für elektrofahrzeeuge (EV)。
在德国Halbleiterfertigung的Anwendungen von Siliziumkarbid
大的kritischen Abmessungen von Halbleitervorrichtungen weiter abnehmen, niimt ihre empfinlichkeit zu。现代Halbleiterherstellungsanlagen müssen darauf achten, Halbleiter in einer vollständig inerten Umgebung zu halten and sie vor jder möglichen Form von Korrosion oder chemistry Angriff zu schützen。
Siliziumkarbid ist dank seiner极端化学物质Inertheit ein ideales Material für Halbleiteranwendungen。Zum Beispiel Hexoloy®Siliziumkarbid von Saint-Gobain bietet eine极端化学温度(> 98%)ohne freies Silizium sowie eine hervorrinee Oxidationsbeständigkeit selbst bei hohen温度。理想之旅für在德国的游行和检查中，在德国的游行和检查中，在德国的游行和检查中unerwünschter在德国的游行和检查中。
圣戈班Siliziumkarbid-Produkte für Halbleiteranwendungen
Hexoloy®SA原文如此ist eine drucklos gesinterte Form aus Alpha-Siliciumcarbid mit extrehoher Dichte (über 98% des theortischen Maximums)。Es bietet eine sehr feine Kornstruktur (4-10 Mikron) und enthält null freies Silizium und ist außerdem sehr widerstandsfähig gegen verschlees ß durch旋转- oder Gleitkräfte。Hexoloy®SA eignet sich ideal für Halbleiteranwendungen, einschließlich:
•Platten zum Schleifen and Polieren von Wafern
•Scheiben für Vakuumspannfutter
•Wafer-Klemmen
•Wafertrager
•Reaktorrohre für die thermische氧化
安德利果汁Hexoloy®produckte mit Halbleiteranwendungen umfassen die elektrisch leitfähigenHexoloy®SGfür溅射目标undHexoloy®SEfür einseitig geschlossene (COE)热电元件-舒茨罗。
Außerdem unsere silikonisierte si - producktlinie Silit®nutzt das geringe geicht and die hohe Steifigkeit von Siliziumkarbid für绝对Präzision und hohe Geschwindigkeiten in der industriellen Messtechnik。Unser碳化硅®Träger setzen einen Hochleistungsmaßstab für Konstruktionsträger, die in Z-Achsen-， Brücken- und Luftlagerbühnen verwendet werden。
圣戈班在世界上führender赫斯特勒·冯·hochleistungsfähigen物质的未来für我的生活。Neben unserer bestehenden Linie vonSiliziumkarbid生产bieten wir unseren昆登unser know in Form einzigartiger und neuartiger Materiallösungen an, die auf die anspruchsvollsten Anwendungen zugeschnitten sind。圣戈班的技术，安文东unterstützen康，在维宾东，我们的技术和技术都是一样的，我们的材料是一样的。
