Spezialkeramiken

Die Spezialkeramikprodukte von Saint-Gobain Performance Ceramics & Refractories helfen unserem Kunden bei der Bewältigung schwieriger Herausforderungen in der thermischen und chemischen Verarbeitung, bei Wärmetauschern, in der industriellen Messtechnik, bei der Temperaturmessung, beim Löten/Schweißen, bei mechanischen Dichtungen, bei der Verarbeitung vonHalbleiterwafern,Beim Sandstrahlen Sowie bei der erzeugung erneeuerbarer energien。

Das Portfolio der Spezialkeramik Besteht Aus Einer Breiten Palette Von Produkten,Die Unter Bekannten Marken Marken Vertrieben Werden:

Saint-Gobain Performance Ceramics&Credractores setzt auf werkstoffkompetenz,创新设计,Kreative Technik undpräziseundpräziseFortigungsprozesse,umZuverlässigeLösungenfürKundenfürKundenus der aus der aus der aus derAutomobilindustrie,,,,Chemischen Industrie,,,,luft-und raumfahrt,nichteisenmetallindustrie,Nuklearlindustrieund bereichen derErneuerbaren Energie,Industriepumpen- und dichtungsindustrie sowiefüroem-anlagenbauer und Metallbearbeitung Zu Liefern。

洛森·纳赫·安温

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Halbleiter-Wafer-Herstellung

Siliziumkarbid-komponenten

Die Produkte von Saint Gobain Specialty Ceramics ermöglichen es Kunden, schwierige Probleme in den Bereichen thermische und chemische Verarbeitung, industrielle Messtechnik, Temperaturmessung, Hartlöten, Gleitringdichtungen, Halbleiterverarbeitung, Sandstrahlen und Anwendungen zur Erzeugung erneuerbarer Energien zu lösen.

Eine Reihe von Hexoloy®Anlagen Zur bearbeitung von halbleiterwafern Verwendet Werden,EinschließlichVakuumspannvorrichen,Chemisch chemisch chemisch-mechanischepolierblöcke(cmp)undwafer-trägerträgerchalen。

Diese Anwendungen Nutzen Die Die Vorteile Von Hexoloy-SiliciumCarbid,NämlichDie Mit Mit Silicium VergleichbareWärmeAusdehnung,Den HohenElastizitätsmodul,Die Chemische cemporthe Inertheit inertheit inertheit undie die diehohehewärmeletfärmeletfähhhehigkeitfähhhehigkeitfähhhhehigkeiit。Hexoloy-Siliciumcarbid eignet sich hervorragend als Strukturmaterial für Waferträgerkomponenten mit geringem Gewicht und für starre, formstabile Plattformen mit außergewöhnlicher Ebenheit zum Schleifen, Läppen und Polieren von Wafern.

werkstoffe硅片®SK SISIC和ADVANCER®nb sic-materialien werden in den luftgelagerten tischen von positierungseinrichtungenfürdie halbleitermesstechnik verwendet。

eigenschaften und torteile

  • strukturfestigkeit undwärmeausdehnungnahe der von siliziumwafern
  • ChemischeKorrosionsbeständigkeit
  • ThermischeStabilität
  • 奥斯瓦尔(Auswahl)spezifischen elektrischen宽大的莫格里奇(Möglich)

gesintertesiliziumcarbidmaterialienfür死亡的人

测试 ätzenderGewichtsverlust(mg / cm2年)
材料 二十
(g / cc)
Biegefestigkeit
(MPA)
Elektrischer Widsterd
(ohm-cm)
wärmeleitfähigkeit
(w/m·k)
Elastizitätsmodul
(GPA)
己糖®SA 3.15 380 102-106 125 410
己糖®SG(gesintertes sic mit freiem kohlenstoff) 3.0 311 1 118 376

常问问题

Bietet Saint-Gobain Performance Ceramics&RercractoriesProdukteFürDie Messtechnik Zur Inspektion von Halbleiterwafern An?

硅片®SISIC和ADVANCER®nb sic-produkte werden beim bau von von luftgelagertentischenfür位置。

wird wird gesintertes在anwendungen zur verarbeitung von halbleiterwafern verwendet中的siliziumcarbid typischerweise?

己糖®gesintertes siliziumcarbid kann在einer vielzahl von von von komponenten verwendet Werden,darunter:

  • vakuumspannvorrichtungen
  • Reaktorrohrefür模具热氧化
  • 晶圆雪花和polierplatten
  • 热元schutzrohre
  • Wafer-Trägerschalen
  • Klammern和Hubstifte
  • SputterTargets

ISTHEXOLOY®SICREN GENUG,UM在Der Halbleiter-Wafer-Wafer-Verarbeitung Verwendet Zu Werden?

己糖®gesintertes siliziumcarbid ist im wesentlichen ein einphosiges材料mit mindestens xnumx%sic。

在Dieser Reinheit Ist Ist Hexoloy®Erfolgreich bei niedrigen bis mittleren perveraturen在Kontaktlosen Anwendungen Eingesetzt Werden中的Wafer-Kontaktanwendungen和Kann Bis Zu Xnumx°C