陶瓷especializada
Os产品cerâmicos especializados da圣戈本性能陶瓷和耐火材料ajudam Os客户a enfrentar Os desafios comuns em processamento térmico e químico, trocadores de calor, metrologia工业，传感器温度，brasagem, selos mecânicos, processamento de wafer de semiconductor, jato de areia e aplicações de geração de energia renovável。
O portfólio de cerâmicas especiais consiste em vários produtos, vendidos como marcas bem conhecidas:
- 正如Hexoloy所说®Carbeto de silício sinterizado
- Norbide®Carbeto de boro prensado a quente
- Noralide®Nitreto de silício prenado a quente
- 碳化硅®Carbeto de silício硅
- Avancado®N-Durance, carboneto de silício ligado a nitreto de Refrax 20E
- O refratário做没有刚玉®Materiais de óxido de alumínio
- Magnorita®材料采用
- Durafrax®氧化铝材料
- Lithafrax™硅胶de Lítio e硅胶de Alumínio cargas inorgânicas
A experiência em materiais, designs inovadores, engenharia criativa e processos de fabricação de precisão da Saint-Gobain Performance Ceramics &耐火材料se combinam para fornecer soluções confiáveis para clientes globais nas áreas automotiva, química, aerospace, metais não ferrosos, energia nuclear e outras energias renováveis, bombas industriais e vedação indústrias;工厂设备制造商mecânicas。
Solução por aplicações
“佩剑团”:
pastilhas半导体过程
碳元素silício
Uma gama de componentes Hexoloy®SA e SG ptilhas半导体加工设备，包括indo mandris de vácuo, blocos de polimento mecânico químico (CMP) e bandejas de transporte de ptilhas。
A expansão térmica da Hexoloy®对应à do silício, enquanto o seu elevado módulo elástico e inércia química asseguram benefícios econômicos significativos, incluindo facilidade de manutenção e潜在para reutilização。A sua alta condutividade térmica assegura um aquecimento uniforme rápido da pastilha de silício。O Hexoloy® SiC proporciona uma excelente establidade de forma, resistência ao desgaste, resistência química e propriedades térmicas que são ideais para a produção de componentes半导体。
物是人非®SK SiSiC e先进®NB SiC também têm sido utilizados nas fases de支持de ar do设备de posicionamento de metrologia de半导体
Características e benefícios
- Resistência estructural e expansão térmica próxima da pastilha de silício
- Resistência à corrosão química
- Estabilidade termica
- Uma gama de resistance vidade elétrica
碳烧结材料silício半导体工艺
| 环境 | (mg / cm2另) | ||||
| 材料 | Densidade (G / cc) |
举国弯曲 (MPa) |
Resistividade总局 (ohm-cm) |
Condutividade Termica (W / m⋅K) |
模Elastico (GPa) |
| 正如Hexoloy所说®SA | 3.15 | 380 | 102- 106 | 125 | 410 |
| 正如Hexoloy所说®SG(SiC sinterizado com carbono livre) | 3．0 | 311 | 1 | 118 | 376 |
Perguntas频繁
A圣戈班性能陶瓷和耐火材料erece产品para equipamento metrológico de inspeção de pastilhas半导体?
Os产品Silit®SiSiC先进®NB SiC têm sido utilization na construção de fases de support de ar para equipment de posicionamento。
Como é que o carbeto de silício sinterizado é tipicamente utizado em aplicações de processamento de pastilhas半导体?
O carbeto de silício sinterizado Hexoloy®Pode ser utilzado numa vasta gama de components，包括:
- Mandris de vácuo
- Tubos de reatores para oxidação térmica
- 广场trituração e polimento de pastilhas
- Tubos de proteção termopar
- porta pastilhas
- Grampos e pinos de elevação
- Filtros阿尔瓦诺
O Hexoloy®SiC é puro足够的para ser utilzado no processamento de pastilhas半导体?
O carbeto de silício sinterizado Hexoloy®é essencialmente um material monofásico com pelo menos 98% de SiC。
Com esta pureza, o Hexoloy®pode ser utilizado com sucesso a temperaturas baixas a moderadas em aplicações de contato com pastilhas, e até 1300℃em aplicações sem contato。
