专业陶瓷

Saint-Gobain Performance Ceramics&SeRractores的专业陶瓷产品可帮助客户解决热和化学处理,热交换器狗万体育官方app,工业计量学,温度传感,悬挂,机械密封,半导体晶片处理,磨砂和可再生能源生成应用方面的独特挑战。

专业陶瓷产品组合包括各种产品,以著名的品牌出售:狗万体育官方app

Saint-Gobain Performance Ceramics&Rercractores的使用材料专业知识,创新设计,创意工程和精确制造流程,以向全球客户提供可靠的解决方案汽车,,,,化学,,,,航天, 有色金属,和别的再生能源,工业泵和密封行业;以及OEM设备制造商和机械车间。

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半导体晶圆处理

碳化硅组件

Saint Gobain专业陶瓷产品使客户能够解决热和化学处理,工狗万体育官方app业计量学,温度传感,悬挂,机械密封,半导体处理,喷砂和可再生能源生成应用方面的棘手问题。

一系列己糖®SA和SG组件可用于半导体晶圆加工设备,包括真空袋,化学机械抛光(CMP)块和晶圆载体托盘。

这些应用利用了六角硅碳化物的热膨胀匹配,与硅,高弹性模量,化学惰性和高导热率相匹配。己洛伊硅碳化物非常适合于低质量晶圆载体组件的结构材料,以及刚性尺寸稳定的平台,具有出色的平坦度,可用于晶圆磨削,打磨和抛光。

硅片®SK Sisic和进步者®NB SIC材料用于半导体计量设备的空气阶段。

功能和好处

  • 结构强度和热膨胀接近硅晶片的结构强度和热膨胀
  • 化学腐蚀性
  • 热稳定性
  • 一系列电阻率

半导体加工的烧结碳化硅材料

测试环境 腐蚀性减肥(mg/cm2年)
材料 密度
(g/cc)
抗弯强度
(MPA)
电阻率
(ohm-cm)
导热系数
(w/m·k)
弹性模量
(GPA)
己糖®SA 3.15 380 102-106 125 410
己糖®SG(用免费碳烧结的SIC) 3.0 311 1 118 376

常问问题

Saint-Gobain性能陶瓷和耐火材料是否为半导体晶圆测量设备提供产品?狗万体育官方app

硅片®西西斯和进步者®NB SIC产狗万体育官方app品用于定位设备的空气阶段。

半导体晶圆处理应用中通常使用烧结的碳化硅碳化硅?

己糖®碳化硅碳化物可用于各种组件,包括:

  • 真空头
  • 反应器管进行热氧化
  • 晶圆磨碎和抛光板
  • 热电偶保护管
  • 晶圆载体托盘
  • 夹具和提起别针
  • 溅射目标

Hexoloy®SIC是否足够纯净,可以用于半导体晶圆处理?

己糖®烧结碳化硅实质上是一种至少98%SIC的单相材料。

在这种纯度上,己糖®在晶圆接触应用中可以在低至中等温度下成功使用,在非接触式应用中最多可用于1,300°C。