专业陶瓷
Saint-Gobain Performance Ceramics&SeRractores的专业陶瓷产品可帮助客户解决热和化学处理,热交换器狗万体育官方app,工业计量学,温度传感,悬挂,机械密封,半导体晶片处理,磨砂和可再生能源生成应用方面的独特挑战。
专业陶瓷产品组合包括各种产品,以著名的品牌出售:狗万体育官方app
- 己糖®烧结碳化硅
- 诺比德®热压硼碳化物
- Noralide®热压硅
- 硅片®硅碳化硅
- 进步者®n-野蛮,雷克拉克斯20E硝酸盐粘合碳化硅
- Alundum®氧化铝材料
- 磁石®MGO材料
- Durafrax®氧化铝材料
- Lithafrax™锂铝硅酸盐无机填充剂
Saint-Gobain Performance Ceramics&Rercractores的使用材料专业知识,创新设计,创意工程和精确制造流程,以向全球客户提供可靠的解决方案汽车,,,,化学,,,,航天, 有色金属,核和别的再生能源,工业泵和密封行业;以及OEM设备制造商和机械车间。
通过应用解决方案
单击您的应用程序以查找更多信息:
- 陶瓷实验室
- 耐腐蚀陶瓷
- 高精度CMM和运动控制设备
- 喷嘴
- 核反应堆
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半导体晶圆处理
- 壳和管热交换器
- 热处理
- 热电偶和传感器保护管
半导体晶圆处理
碳化硅组件
一系列己糖®SA和SG组件可用于半导体晶圆加工设备,包括真空袋,化学机械抛光(CMP)块和晶圆载体托盘。
这些应用利用了六角硅碳化物的热膨胀匹配,与硅,高弹性模量,化学惰性和高导热率相匹配。己洛伊硅碳化物非常适合于低质量晶圆载体组件的结构材料,以及刚性尺寸稳定的平台,具有出色的平坦度,可用于晶圆磨削,打磨和抛光。
硅片®SK Sisic和进步者®NB SIC材料用于半导体计量设备的空气阶段。
功能和好处
- 结构强度和热膨胀接近硅晶片的结构强度和热膨胀
- 化学腐蚀性
- 热稳定性
- 一系列电阻率
常问问题
Saint-Gobain性能陶瓷和耐火材料是否为半导体晶圆测量设备提供产品?狗万体育官方app
硅片®西西斯和进步者®NB SIC产狗万体育官方app品用于定位设备的空气阶段。
半导体晶圆处理应用中通常使用烧结的碳化硅碳化硅?
己糖®碳化硅碳化物可用于各种组件,包括:
- 真空头
- 反应器管进行热氧化
- 晶圆磨碎和抛光板
- 热电偶保护管
- 晶圆载体托盘
- 夹具和提起别针
- 溅射目标
Hexoloy®SIC是否足够纯净,可以用于半导体晶圆处理?
己糖®烧结碳化硅实质上是一种至少98%SIC的单相材料。
在这种纯度上,己糖®在晶圆接触应用中可以在低至中等温度下成功使用,在非接触式应用中最多可用于1,300°C。