陶瓷especializada

Os产品cerâmicos specializados da Saint-Gobain性能陶瓷和耐火材料ajudam Os客户a enfrentar Os desafios comuns em processamento térmico e químico, trocadores de calor, metrologia industrial, sensor de温控器,brasagem, selos mecânicos, processamento de wafer de wafer, jato de areia e aplicações de geração de energia renovável。

O portfólio de cerâmicas speciais consistesem vários产品,供应商como marcas bem conhecidas:

A experiência em materiais, designs inovadores, engenharia criativa e processos de fabricação de precisão da Saint-Gobain性能陶瓷和耐火材料的组合para fornecer soluções confiáveis para clientes globais nas áreas automotiva, química, aerospace, metais não ferrosos, energia nuclear e rouas energias renováveis, bombas industriais e vedação indústrias;设备制造商OEM e oficinas mecânicas。

Solução por aplicações

“佩剑派”:

pastilhas半导体工艺

carbeto de silício

Os produtos da Saint Gobain特种陶瓷允许客户解决问题difíceis em aplicações de processamento térmico e químico, metrologia industrial, sensor de温控器,brasagem, selos mecânicos, processamento de半导体,jato de areia e geração de energia renovável。

Uma gama de componentes Hexoloy®该公司提供的产品包括:西班牙制糖厂vácuo,波兰制糖厂mecânico químico (CMP),西班牙制糖厂运输设备。

A expansão térmica da Hexoloy®对应à do silício, enquanto o seu elevado módulo elástico e inércia química asseguram benefícios econômicos mitiativos, incluindo facilidade de manutenção e potential para reutilização。这是一种非常有效的方式térmica有一种统一的方式rápido da pastilha de silício。O Hexoloy® SiC比例ciona uma excelente estilidade de forma, resistência ao desgaste, resistência química e固有技术térmicas que são ideais para a produção de compones半导体。

Os materiais Silit®SK SiSiC e先行者®NB SiC também têm sido不胜其用,支持半导体设备,生产设备,计量设备

Características e benefícios

  • Resistência estructure e expansão térmica próxima da pastilha de silício
  • Resistência à corrosão química
  • Estabilidade termica
  • Uma gama de resistividade elétrica

烧结碳化材料silício半导体工艺参数

睾丸环境 Perda de peso腐蚀(mg / cm2另)
材料 Densidade
(G / cc)
举国弯曲
(MPa)
Resistividade总局
(ohm-cm)
Condutividade Termica
(W / m⋅K)
模Elastico
(GPa)
就像hastes Hexoloy®SA 3.15 380 102- 106 125 410
就像hastes Hexoloy®SG(SiC烧结livre) 3.0 311 1 118 376

Perguntas频繁

A圣戈班性能陶瓷和耐火材料erece产品para equipment to metrológico de inspeção de pastilhas半导体?

Os产品,Silit®西西克先行者®NB SiC têm sido utilizados na construção de fases de support de ar para equipment de posicionamento。

Como é que o carbeto de silício sinterizado é tipicamente utilizado em aplicações de pastilhas半导体工艺?

O carbeto de silício sinterizado Hexoloy®Pode ser utilzado numa vasta gama de components,包括:

  • Mandris de vácuo
  • Tubos de reatores para oxidação térmica
  • 广场trituração e polimento de pastilhas
  • Tubos de proteção termopar
  • Tabuleiros porta pastilhas
  • Grampos e pinos de elevação
  • Filtros阿尔瓦诺

O Hexoloy®SiC é puro O充分para ser utilizado no processamento de pastilhas半导体?

O carbeto de silício sinterizado Hexoloy®é精华材料monofásico com pelo menos 98% de SiC。

Com esta pureza,哦,上帝®pode ser utilizado com sucesso a温度baixas a moderadas em aplicações de contato com pastilhas, e até 1300°C em aplicações sem contato。