高精度和精度测量

碳化硅板是用于定位设备的空气轴承工作台的极好选择，特别是用于半导体晶圆检查时，建议确保硅晶圆的热膨胀与碳化硅工作台之间的密切匹配。

与氧化铝氧化物相比，碳化硅是一种较轻的材料，具有较低的热膨胀率、较高的导热系数和较高的比刚度。

使用碳化硅制成的结构组件，如z轴、桥梁和支撑柱，更轻，可以更快地移动并增加适应温度变化的能力。